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CASA立項《碳化硅襯底晶體生長用石墨構件純度測定方法》團體標準

2023-12-29

    由聯盟成員單位賽邁科材料股份有限公司牽頭,聯合北京北方華創微電子裝備有限公司、湖南三安半導體有限公司、山東大學、中國科學院半導體研究所聯合提出的《碳化硅襯底晶體生長用石墨構件純度測定方法》團體標準提案,經CASAS管理委員會投票獲得通過,2023年11月20日正式立項,并分配標準編號:T/CASAS 036。

秘書處將向CASAS正式成員發出征集起草單位的通知,組建標準起草小組,請CASAS正式成員關注秘書處郵件(casas@casa-china.cn)。
T/CASAS 036—20XX《碳化硅襯底晶體生長用石墨構件純度測定方法》描述了碳化硅襯底晶體生長用石墨構件純度測定的原理、試驗環境、儀器設備、試劑與材料、試樣、試驗步驟、試驗結果、試驗報告及質量控制的方法。適用于碳化硅襯底晶體生長用石墨構件純度(≥99.9995 wt%)的測定,單個元素含量測定范圍為0.01 mg/kg~5 mg/kg。


----文章轉自CASA----

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