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XP-62X/XP-63X系列微納米定位臺
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XP-62X系列壓電納米定位臺是采用VS12系列促動器直接驅動，具有大承載、快速響應、高可靠性和長壽命等特點，SGS傳感器實現全閉環運動、高諧振頻率和更大的拉力是該定位臺的優勢。該系列定位臺可以組合成二維、三維的微動臺產品。
XP-63X系列壓電納米定位臺采用壓電陶瓷直接驅動結構設計，具有快速響應、高可靠性和長壽命等特點，該系列微動臺可以組合成二維、三維的微動臺產品。
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