三相固態繼電器與機械繼電器在性能上存在顯著的差異。以下是對兩者性能的比較：

1. 響應速度和開關速度：三相固態繼電器具有更快的響應速度和開關速度。由于其內部采用半導體開關，具有非常快的響應速度和可控性，因此可以快速地進行開關操作。而機械繼電器由于其機械結構的限制，響應速度和開關速度相對較慢。
2. 使用壽命和可靠性：三相固態繼電器的使用壽命更長，可靠性更高。由于沒有機械觸點，因此不存在機械磨損和觸點燒灼等問題，從而延長了使用壽命。而機械繼電器由于其機械結構的磨損和觸點燒灼等問題，使用壽命相對較短。
3. 體積和功耗：三相固態繼電器具有更小的體積和更低的功耗。由于其內部采用半導體開關，不需要大量的機械部件，因此可以減小體積和功耗。而機械繼電器由于其機械結構的需要，體積相對較大，功耗也相對較高。
4. 負載能力和通斷能力：三相固態繼電器具有通斷能力強、負載容量大的特點。由于其內部采用半導體開關，可以控制較大的電流和電壓，因此具有更強的負載能力和通斷能力。而機械繼電器的負載能力和通斷能力相對較弱。
5. 過載能力和抗雷擊能力：機械繼電器的過載能力較強，能夠承受較大的過載電流。而三相固態繼電器在過載或雷擊時容易損壞。這是因為固態繼電器內部采用半導體開關，對過載和雷擊等電氣應力較為敏感。
6. 觸點形式：機械繼電器斷開時為物理斷開，不存在漏電電流。而固態繼電器不是物理斷開，存在漏電電流。在某些應用中，這可能會影響電路的性能和安全性。

總的來說，三相固態繼電器在響應速度、使用壽命、體積、功耗、負載能力和通斷能力等方面具有優勢，但在過載能力和抗雷擊能力方面相對較弱。而機械繼電器在過載能力和觸點形式等方面具有優勢。因此，在選擇使用哪種繼電器時，需要根據具體的應用場景和需求進行權衡和選擇。